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電鑄光柵網(wǎng)片是一種通過(guò)精密電鑄工藝制造的具有周期性微納結(jié)構(gòu)的功能性元件，廣泛應(yīng)用于光學(xué)傳感器、衍射光柵、光譜分析、顯示技術(shù)等領(lǐng)域。以下是其技術(shù)細(xì)節(jié)和應(yīng)用的全面解析：
1. 核心特性與要求
高精度周期性結(jié)構(gòu)：柵線寬度可達(dá)0.1~10 μm，周期精度±0.01 μm。
高深寬比：結(jié)構(gòu)高度與寬度比可達(dá)10:1（如柵高50 μm，寬5 μm）。
光學(xué)性能：表面粗糙度Ra<20 nm以減少光散射。
材料選擇：鎳（高反射率）、金（紅外波段適用）或鎳鈷合金（增強(qiáng)耐磨性）。
2. 電鑄工藝關(guān)鍵流程
(1) 母模制備
光刻技術(shù)：
紫外光刻（UV）：適用于≥1 μm線寬（如SU-8膠）。
電子束光刻（EBL）：用于亞微米級(jí)柵線（電子束直寫(xiě)，精度±5 nm）。
干涉光刻：利用激光干涉產(chǎn)生周期性圖案（無(wú)需掩膜版）。
納米壓印：通過(guò)硬質(zhì)模具（如硅）壓印光刻膠，實(shí)現(xiàn)大面積納米結(jié)構(gòu)復(fù)制。
(2) 導(dǎo)電化處理
磁控濺射：在絕緣母模上沉積Cr/Au種子層（厚度50~100 nm）。
化學(xué)鍍：對(duì)非導(dǎo)電聚合物模具進(jìn)行銀鏡反應(yīng)鍍層。
(3) 電鑄成型
電解液配方：
氨基磺酸鎳溶液（pH 3.5~4.5）+ 光亮劑（如糖精）降低內(nèi)應(yīng)力。
脈沖電流參數(shù)：頻率100~1000 Hz，占空比10%~50%，減少孔隙率。
結(jié)構(gòu)控制：
深寬比優(yōu)化：添加加速劑（如氯化鎳）提高深孔區(qū)沉積速率。
溫度控制：50±1℃（穩(wěn)定性影響晶粒尺寸）。
(4) 脫模與后處理
化學(xué)溶解脫模：NaOH溶液溶解光刻膠，或HF溶液蝕刻硅模具。
等離子清洗：去除有機(jī)殘留，提升表面光學(xué)性能。
防氧化涂層：電鑄金網(wǎng)片需涂覆SiO?保護(hù)層（厚度~100 nm）。
3. 技術(shù)優(yōu)勢(shì)
超高精度：可實(shí)現(xiàn)<100 nm周期的衍射光柵（如用于紫外光譜儀）。
復(fù)雜3D結(jié)構(gòu)：支持梯形、鋸齒形等非對(duì)稱柵線（如閃耀光柵）。
批量一致性：同一模具可復(fù)制數(shù)千片，良率>99%。
多功能集成：可結(jié)合磁性層（如Ni-Fe）實(shí)現(xiàn)磁光混合傳感。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
電鑄光柵參數(shù)示例
光譜儀 | 高分辨率衍射 | 周期1 μm，深度0.5 μm，鎳材質(zhì) |
激光準(zhǔn)直器 | 低散射損耗 | 周期3 μm，深寬比2:1，表面鍍金 |
AR衍射波導(dǎo) | 大角度視場(chǎng) | 傾斜柵線45°，周期0.3 μm |
粒子過(guò)濾器 | 亞微米通孔 | 孔徑200 nm，陣列密度10?/cm2 |
工藝挑戰(zhàn)與解決方案
高深寬比結(jié)構(gòu)塌陷：
超臨界CO?干燥技術(shù)替代傳統(tǒng)烘干。
低溫（<60℃）電鑄減少熱應(yīng)力變形。
柵線邊緣毛刺：
反向脈沖電鑄（陰極周期性溶解）。
離子束拋光（Ion Beam Figuring）。
大面積均勻性：
分段式陽(yáng)極設(shè)計(jì)（優(yōu)化電流分布）。
電解液流動(dòng)模擬（COMSOL Multiphysics優(yōu)化流場(chǎng)）。
性能檢測(cè)方法
形貌表征：
SEM/TEM觀測(cè)柵線截面形貌。
白光干涉儀測(cè)量深度和粗糙度。
光學(xué)測(cè)試：
分光光度計(jì)檢測(cè)衍射效率（如405 nm激光下的±1級(jí)衍射光強(qiáng)比）。
激光共聚焦顯微鏡分析波前像差。
與其它工藝對(duì)比
工藝 | 精度 | 深寬比 | 成本 | 適用場(chǎng)景 |
電鑄 | 0.1 μm | 10:1 | 中高 | 高精度、復(fù)雜3D結(jié)構(gòu) |
激光直寫(xiě) | 1 μm | 5:1 | 極高 | 小批量原型 |
納米壓印 | 10 nm | 3:1 | 低 | 大規(guī)模復(fù)制平面結(jié)構(gòu) |
蝕刻 | 0.5 μm | 1:1 | 中 | 簡(jiǎn)單二維圖形 |
前沿發(fā)展方向
超表面光柵：通過(guò)亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)異常折射（電鑄Ag/TiO?復(fù)合結(jié)構(gòu)）。
動(dòng)態(tài)可調(diào)光柵：結(jié)合MEMS技術(shù)，電鑄可變形柵條（如靜電驅(qū)動(dòng)）。
生物傳感集成：光柵表面功能化（如抗體修飾）用于痕量檢測(cè)。
電鑄光柵網(wǎng)片是微納光學(xué)與精密制造的交叉產(chǎn)物，其性能直接決定終端設(shè)備的精度上限。隨著元宇宙（AR/VR）和量子傳感的發(fā)展，對(duì)超精密、低成本光柵的需求將推動(dòng)電鑄工藝向更高效率、更復(fù)雜材料體系演進(jìn)。
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