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金屬網(wǎng)蝕刻加工技術(shù)詳解
發(fā)布日期:2025-07-17

金屬網(wǎng)蝕刻加工

一、工藝流程與核心技術(shù)

金屬網(wǎng)蝕刻加工通過光化學(xué)腐蝕與精密控制實(shí)現(xiàn)網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)成型,主要流程包含:

基材預(yù)處理:采用304/316不銹鋼或銅合金板材(厚度0.02-15mm),通過堿性脫脂(NaOH溶液)與酸性活化(稀硝酸)清除表面氧化層,提升光刻膠附著力。

圖形轉(zhuǎn)?。?/span>噴涂正性光刻膠(厚度5-20μm)后,通過UV曝光機(jī)(波長365nm)將掩膜圖案轉(zhuǎn)印至金屬表面,顯影形成抗蝕刻保護(hù)層,精度達(dá)±0.01mm。

動態(tài)蝕刻:浸入三氯化鐵(不銹鋼適用)或硝酸溶液(銅合金適用),溫度控制在40-50℃,配合噴淋系統(tǒng)(壓力0.2-0.4MPa),腐蝕速率穩(wěn)定于0.05-0.15mm/min,形成孔徑0.3-100mm的均勻孔陣2]。

后處理優(yōu)化:電解拋光(Ra≤0.1μm)結(jié)合鍍層強(qiáng)化(如電鍍鎳/鉻),耐腐蝕性可通過鹽霧測試≥480小時。

二、工藝優(yōu)勢與行業(yè)適配性

金屬網(wǎng)蝕刻加工相比傳統(tǒng)沖壓具備顯著優(yōu)勢:

無機(jī)械應(yīng)力變形:化學(xué)腐蝕工藝避免材料延展損傷,尤其適用于超薄板材(0.02-0.5mm)微孔加工(孔徑最小0.3mm,間距公差±0.005mm)。

復(fù)雜圖形支持:可定制異形孔陣(六邊形/條形孔)與梯度孔徑設(shè)計(入口>出口),適配集成電路印刷網(wǎng)版(線寬5μm級精度)、汽車VVT濾網(wǎng)等場景。

效率與成本平衡:光刻-蝕刻全流程耗時僅8-24小時,支持小批量柔性生產(chǎn),良率達(dá)99%以上。

三、典型應(yīng)用領(lǐng)域

金屬網(wǎng)蝕刻加工產(chǎn)品廣泛覆蓋工業(yè)場景:

精密電子:

半導(dǎo)體晶圓掩膜版(孔徑≤0.1mm,精度±1μm);

5G通信射頻濾波器金屬網(wǎng)罩(透波率>98%)。

交通能源:

新能源汽車電池集流體蝕刻網(wǎng)(銅基材,孔隙率60%-80%);

航空燃油過濾系統(tǒng)(鈦合金網(wǎng),耐溫600℃)。

環(huán)?;ぃ?/span>

石化分子篩網(wǎng)(孔徑分級設(shè)計,過濾效率提升50%);

建筑降噪屏障(不銹鋼蝕刻吸聲板,降噪系數(shù)NRC≥0.8)。

四、質(zhì)量控制與環(huán)保升級

金屬網(wǎng)蝕刻加工需構(gòu)建全鏈條品控體系:

智能檢測:采用CCD視覺系統(tǒng)實(shí)時監(jiān)測孔徑波動(CV值<0.5%),三次元測量儀校驗(yàn)平整度(誤差±0.02mm)。

環(huán)保工藝:配套酸液循環(huán)再生系統(tǒng)(利用率≥85%)與危廢處理協(xié)議,滿足ISO 14001標(biāo)準(zhǔn)要求。

總結(jié):金屬網(wǎng)蝕刻加工以“高精度+柔性化”為核心競爭力,正推動半導(dǎo)體封裝、新能源等領(lǐng)域精密金屬濾網(wǎng)的技術(shù)革新。隨著智能化與綠色工藝的深度整合,其應(yīng)用邊界將持續(xù)拓展。

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